Μικροηλεκτρομηχανικά Συστήματα

Γενικά

• Κωδικός: 46.01
• Εξάμηνο: Επιλ. Δ1 4ο
• Επίπεδο Σπουδών: Προπτυχιακό
• Τύπος μαθήματος: Επιλογής
• Γλώσσα διδασκαλίας και εξετάσεων: Ελληνικά
• Το μάθημα διατίθεται σε φοιτητές Erasmus
• Μέθοδοι Διδασκαλίας (Ώρες/εβδ.): Θεωρία (2) / Ασκήσεις Πράξεις (1)
• Μονάδες ECTS: 4
• Σελίδα μαθήματος: https://exams-sm.the.ihu.gr/course/view.php?id=106
• Διδάσκοντες: Κιζήρογλου Μιχαήλ
• Πρόγραμμα Μαθημάτων:
  • Δε 12:00 - 13:00: 311 | ΚΙΖΗΡΟΓΛΟΥ
  • Δε 10:00 - 12:00: 311 | ΚΙΖΗΡΟΓΛΟΥ

Περιεχόμενα μαθήματος

1. Εισαγωγή στα MEMS
2. Σημασία και δυνατότητες
3. Κλιμάκωση
4. Δομικά υλικά MEMS
5. Τεχνολογία Μικροδόμησης
6. Λιθογραφία
7. Ακολουθίες κατεργασιών
8. Ηλεκτρονική MEMS
9. Μηχανική MEMS
10. Εφαρμογές MEMS 1 (Συστήματα Μικροενέργειας)
11. Εφαρμογή MEMS 2 (Μικρο-ρομπότ)
12. Εργοστάσια παραγωγής συστημάτων MEMS
13. Σύνοψη

Μαθησιακοί Στόχοι

Γνώσεις:.
Κατανόηση των διαδικασιών κατασκευής μικροηλεκτρομηχανολογικών συστημάτων.
Κατανόηση των αρχών λειτουργίας μικρο-αισθητήρων, μικρο-ενεργοποιητών και μικρο-γεννητριών.
Κατανόηση των κύριων επιτυχημένων παραδειγμάτων της τεχνολογίας MEMS.
Δεξιότητες:
Σχεδίαση διατάξεων MEMS.
Σχεδίαση ακολουθιών κατεργασιών για κατασκευή συστημάτων MEMS.
Αξιολόγηση της προοπτικής νέων μικροσυστημάτων.
Χρήση τεχνικών και υπηρεσιών MEMS στις διαδικασίες παραγωγής.

Γενικές Ικανότητες

Αναζήτηση, ανάλυση και σύνθεση δεδομένων και πληροφοριών, με τη χρήση και των απαραίτητων τεχνολογιών
Προσαρμογή σε νέες καταστάσεις
Αυτόνομη εργασία
Ομαδική εργασία
Σεβασμός στο φυσικό περιβάλλον
Προαγωγή της ελεύθερης, δημιουργικής και επαγωγικής σκέψης

Μέθοδοι Διδασκαλίας

Διαλέξεις, Ασκήσεις Πράξεις, Διαδικτυακή καθοδήγηση. Προβολή Διαφανειών με υπολογιστή. Χρήση ηλεκτρονικού ταχυδρομείου. Χρήση διαδικτυακών βοηθημάτων διδασκαλίας (moodle)

Αξιολόγηση Φοιτητών

Γλώσσα Αξιολόγησης: Ελληνικά / Αγγλικά
Δημόσιες Παρουσιάσεις
Πρακτική ενδιάμεση εξέταση
Τελικές Γραπτές Εξετάσεις
Κριτήρια αξιολόγησης:
– Δεξιότητα σχεδίασης διατάξεων MEMS
– Δεξιότητα σχεδίασης ακολουθίας κατεργασιών
– Δεξιότητα επιλογής και εφαρμογής διατάξεων MEMS σε πραγματικές εφαρμογές.

Συνιστώμενη Βιβλιογραφία

Βιβλίο [77118862]: Μηχανοτρονικός Σχεδιασμός Γ’ έκδοση, Γαστεράτος Α.
Βιβλίο [18548802]: Μικροαισθητήρες, Gardner Julian W.
Βιβλίο [6847]: ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΗ ΦΥΣΙΚΗ ΣΤΕΡΕΑΣ ΚΑΤΑΣΤΑΣΕΩΣ, C.KITTEL
Άλλα συγγράμματα:
Microsystem Design [electronic resource]
Κωδικός Βιβλίου στον Εύδοξο: 73269100
Έκδοση: /2001
Συγγραφείς: Stephen D. Senturia
ISBN: 9780306476013
Τύπος: Ηλεκτρονικό Βιβλίο